Vue d'ensemble de SAFIR. © INSP - Cécile Duflot
SAFIR (Système d’Analyse par Faisceaux d’Ions Rapides) est une plateforme d’analyse par faisceaux d’ions de l’INSP, accessible aux chercheurs de Sorbonne Université, aux partenaires industriels, et aux collaborations internationales, via la fédération nationale de recherche EMIR&A, et les projets européens.
La plateforme permet l’analyse qualitative et quantitative de couches minces (< 1mm) ou ultra-minces (<10nm), dans des domaines variés, tels que les nanosciences, la science des matériaux, la microélectronique, la corrosion, l’électrochimie, ou encore la géologie et la planétologie.
Le principe de ce système d’analyse repose sur l’exploitation des interactions de faisceaux de particules rapides issues de l’accélérateur Van de Graaff avec les atomes d’échantillons, pour sonder les profils de structure et de composition (y compris isotopique) de la région superficielle des solides.
La plateforme met à disposition un panel de méthodes d’analyses complémentaires :
- RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry),
- NRA (Nuclear Reaction Analysis),
- NRP (Nuclear Resonance Profiling),
- ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis),
Un dispositif d’analyse à très haute résolution en profondeur, MEIS (Medium Energy Ion Scattering) en cours de montage, permettra d’obtenir une résolution sub nanométrique dans les premiers 20 nm.
Une nouvelle ligne de faisceau est par ailleurs, en cours de développement dans le cadre d’un PERP porté par l’Agence de Programme pour la recherche sur les Energies Décarbonées. Celle ligne sera spécifiquement dédiée à la détermination quantitative les profils de concentration 1H et 2H en dans les premiers microns des matériaux.
Dans tous ces cas la canalisation d’ions peut renseigner sur l’ordre atomique, défauts étendus et ponctuels, relations d’épitaxie, et champs de contraintes dans les systèmes monocristallins.
- Méthodes analytiques
- Publications récentes
- SAFIR en quelques dates
- Utiliser SAFIR
- Stages
Contacts
Emrick Briand : emrick.briand(at)insp.jussieu.fr
Bingbing Xia : bingbing.xia(at)insp.jussieu.fr
