Nouvelle machine de sputtering dans la salle blanche de l’INSP – Juin 2023
Machine de sputtering. © INSP
L’équipe de la salle blanche a installé en juin 2023 un bâti de sputtering.
Cette machine vient en complément des machines de dépôt thermique déjà existantes et qui sont bien adaptées aux matériaux à température de fusion faible ou modérée.
La technique par sputtering permet le dépôt de matériaux à haut point de fusion et en particulier des oxydes tels que ITO (pour fabriquer des électrodes transparentes conductrices) ou encore NiO (pour fabriquer des couches de transport de trous).
Cet équipement permet également la jouvence des machines de sputtering existantes qui vont pouvoir être dédiées à des applications spécifiques (dépôt de ZnO piézoélectrique) en étant déchargées des dépôts les plus classiques. La nouvelle machine offrira un haut degré d’automatisation tout en réduisant significativement le temps de pompage (1 h vs 6 h dans les vieilles machines) et donc en augmentant le nombre d’utilisateurs journaliers.
L’acquisition de cette nouvelle machine s’inscrit dans un plan à long terme d’upgrade de la salle blanche de l’INSP avec déjà plusieurs nouveaux outils achetés au cours des dernières années (aligneur de masque pour photolithographie, deux machines de dépôt thermique, plasma cleaner, four d’oxydation et prochainement lithographie laser haute résolution).
En savoir plus sur la salle blanche
Ligne directe : 01 44 27 81 32 – salleblanche(at)insp.jussieu.fr
