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Fabrication de dispositifs en salle blanche et traitement sans air en boîte à gants
Nous bénéficions de la salle blanche de l’INSP, ainsi que de l’accès au » Paris center clean room consortium » qui nous donne accès à la lithographie optique, laser et e-beam. Nous avons également la possibilité de déposer des métaux et des diélectriques, y compris des matériaux à haute teneur en carbone. Dans le groupe, nous disposons également d’une boîte à gants pour le traitement sans air des nanocristaux. Elle comprend également un évaporateur relié à la boîte à gants pour la fabrication de dispositifs à l’abri de l’air.
Légende : Image de l’installation pour le traitement sans air.
Installation pour la caractérisation optoélectronique
En plus des installations pour la fabrication du dispositif, nous avons également des installations complètes pour la caractérisation du dispositif. Cela comprend deux cryostats à cycle fermé, 3 stations de sonde dont une dans un environnement sans air, de nombreux appareils de mesure de la source avec une résolution allant jusqu’au subfA (Keithley 6430), un amplificateur de courant, un amplificateur à haute vitesse, un amplificateur de verrouillage, un oscilloscope GHz, de nombreuses sources de lumière du visible à l’IR moyen, soit à large bande, soit à laser (355,405, 532, 635, 800, 940, 1550 et 4400 nm). Nous disposons également d’un laser pulsé pour les expériences à résolution temporelle. Nous disposons également de 3 spectromètres d’absorption pour couvrir la gamme de 200 nm à 200 µm.
Contact
Emmanuel Lhuillier : emmanuel.lhuillier(at)insp.upmc.fr
