2 bâtis de croissance par ablation laser : laser YAG pulsé à 266 nm couplé à une enceinte sous vide secondaire avec un système de six cibles, un porte-échantillon chauffant (800°C) et : laser YAG pulsé à 266 nm couplé à une enceinte sous ultravide, 4 cibles, porte-échantillon chauffant (950°C).
L’ablation laser permet d’obtenir des films d’oxydes de composition complexe et de propriétés variées. Lorsque plusieurs cibles sont utilisées de façon alternative, il est possible de former des multicouches et des nano-composites (nano-cristaux métalliques dans une matrice d’oxyde par exemple).
Contact
- Yunlin Zheng : yunlin.zheng(at)insp.jussieu.fr
