Le dispositif expérimental ultravide utilisé pour la caractérisation de surface avec les ions multichargés provenant de la source SIMPA comprend : une chambre ultravide d’analyse, une chambre ultravide de préparation d’échantillon et un sas d’introduction. L’ensemble est équipé de systèmes de pompage et de mesures adaptés à l’ultravide (pompes ioniques avec sublimation de Ti et jauges Bayard-Alpert). Les transferts entre les différentes enceintes sont compatibles avec le support d’échantillon de type Omicron.
© INSP – Cécile Duflot
La chambre d’analyse
La chambre d’analyse, entièrement conçue et fabriquée au laboratoire comprend :
- Un goniomètre 6 axes motorisés (3 translations, 3 rotations avec une précision de 5/100°) de la société Vinci Technologies permettant de chauffer un échantillon par bombardement électronique à 1000K et de le refroidir à 100K ;
- Une cage de Faraday rétractable ;
- Des flasques installés à différents angles permettent d’installer par exemple des détecteurs X (Si(Li), SDD, Fast SDD).
La chambre de préparation
La chambre de préparation, également entièrement conçue et fabriquée au laboratoire, est connectée à la chambre d’analyse et à un sas d’introduction. Elle comprend :
- Un manipulateur 4 axes de la société UHV Design permettant de chauffer un échantillon par bombardement électronique à 1000K et de le refroidir à 100K ;
- Un canon à ions ;
- Un spectromètre Auger.
