La microcavité phononique est formée par deux miroirs à super-réseau GaAs/AlAs, Distributed Bragg Reflector (DBR) et une cavité λ/2. Les DBR sont cultivés par MBE en interne à l’INSP à l’aide d’une machine d’épitaxie par faisceau moléculaire Riber Compact 21 (MBE) de pointe pour la croissance de semi-conducteurs III-V. Les qubits transmon sont réalisés par lithographie par faisceau et par évaporation angulaire selon la technique du pont de Dolan. Toutes les mesures sont effectuées dans un réfrigérateur à dilution sans cryogène, équipé de guides d’ondes électriques à haute fréquence et d’amplificateurs cryogéniques.
Figure: Réfrigérateur à dilution sans cryogène équipé de guides d’ondes électriques à haute fréquence et d’amplificateurs cryogéniques.
