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Bâti de dépôt de couches organiques et métalliques sous atmosphère contrôlée
© INSP
Cet ensemble boite à gants / évaporateur est destiné au dépôt de couches minces de matériaux organiques et de métaux, pour constituer des dispositifs optoélectroniques variés (diodes électroluminescentes, transistors, cellules photovoltaïques). L’épaisseur totale de ces composants multicouches va de moins de 100 nm à quelques microns.
La boite à gants est remplie d’azote en légère surpression. Un purificateur élimine vapeur d’eau et oxygène jusqu’à un niveau de quelques ppm. La boite à gants abrite une tournette (spin-coating), adaptée au dépôt de molécules ou polymères en solution, et elle est reliée à un évaporateur par un passe-échantillon (diamètre 63 mm).
L’évaporateur est basé sur une sphère en acier inoxydable, munie d’une porte, d’un porte-échantillon tournant et de systèmes de pompage et de contrôle. Différents creusets destinés à l’évaporation de molécules de petite masse et des métaux d’électrodes y sont installés.
Le bras de manipulation permet d’interchanger les masques entre chaque couche, si nécessaire. Après fabrication, le banc installé dans la boite à gants permet des mesures électriques sous pointes sans exposition du composant à l’atmosphère ambiante.
